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(1)經380℃低溫輝光等離子滲氮處理12h后，AISI316L不銹鋼試樣表層獲得了滲氮層，結合金相及EPMA分析，外徑相同的圓環，當比表面積為0.3cm 2 kg-1時，試樣滲氮后滲氮層中N元素分布均勻，沒有明顯的富集，其N元素表面最多，越靠近基體，N元素含量越低，呈遞減分布，滲氮層中Cr元素呈現遞減分布，但沒有N元素遞減那么陡峭。當比表面積增大到0.7cm 2 kg-1時，滲層厚度相比比表面積0.3cm 2 kg-1試樣厚13μm，且有很明顯的析出物，滲氮層經腐蝕后呈白亮層與黑色層的混合物，滲氮層一半呈黑色，析出嚴重，N元素的分布不均勻，在硬質相中N元素的分布很少，反而有明顯的Fe元素富集，富集區域呈現團簇狀。

(2)在相同的低溫輝光等離子滲氮工藝條件下，AISI316L奧氏體不銹鋼試樣比表面積越大，滲氮層越厚，表面硬度越高；AISI316L不銹鋼基體硬度為240HV 0.05，低溫滲氮后，不同比表面積試樣表面硬度分別達到1015HV 0.05、1080 HV 0.05、1176HV 0.05；滲氮試樣表面硬度相比未滲氮試樣表面硬度提高了4~5倍。

(3)AISI316L奧氏體不銹鋼低溫輝光等離子滲氮后，在干摩擦條件下，顯著降低摩擦系數，提高了摩擦磨損性能，比表面積越大表面硬度越高，滲氮層越厚，摩擦系數越低，耐磨性越好，磨損量越少。試樣表面硬度越小，氮滲層越薄，摩擦系數越大，且磨痕上面有皸裂現象，摩擦磨損性能越差。

(4)AISI316L不銹鋼基體的點蝕電位為-0.4115V SCE，對應的腐蝕電流為3.196×10-6A/cm 2，隨著比表面積的增加，低溫滲氮處理后試樣點蝕電位分別為-0.4272V SCE、-0.4532V SCE、-0.4683V SCE，對應的腐蝕電流分別為3.773×10-6 A/cm 2、5.534×10-6A/cm 2、6.656×10-6 A/cm 2。低溫滲氮處理后點蝕電位相比AISI316L不銹鋼基體略有下降，但基本維持在同一水平；相同工藝條件下，試樣比表面積越大，滲氮層析出物越多，點蝕電位越低，腐蝕電流越大，耐蝕性越差。

(5)經380℃低溫輝光等離子滲氮處理12h后，300系列奧氏體不銹鋼試樣表層獲得了雙滲氮層，結合金相及EPMA分析，試樣滲氮后滲氮層中N元素分布均勻，沒有明顯的富集，其N元素表面最多，越靠近基體，N元素含量越低，呈遞減分布，滲氮層中Cr元素也呈現同樣的規律，Ni元素及Mo元素在整個滲層及基體中分布很均勻，沒有發生明顯的富集，且其橫截面含量沒有變化，說明Ni及Mo元素在滲氮中很穩定，不會形成氮的化合物。而γN相顯著提高了300系列奧氏體不銹鋼表面的硬度，AISI 304L不銹鋼滲氮后滲層最厚，表面硬度最高，其所對應的摩擦系數最小，摩擦系數在0.75左右，AISI 316L不銹鋼滲氮滲層及表面硬度相比AISI 304L不銹鋼較低，其滲層所對應的摩擦系數較AISI 304L不銹鋼滲層的摩擦系數較大，摩擦系數在0.82左右，AISI 321滲氮滲層最薄，表面硬度最小，其所對應的摩擦系數最大，摩擦系數在0.96左右。

(6)300系列奧氏體不銹鋼低溫滲氮后，點蝕電位和300系列奧氏體不銹鋼基體維持在同一水平，點蝕電位在-0.4115V左右，AISI304L不銹鋼滲氮后試樣腐蝕電流為8.522×10-7 A/cm 2，腐蝕電流相比AISI304L不銹鋼基體減小了一個數量級，AISI316L不銹鋼滲氮后試樣腐蝕電流為3.165×10-6 A/cm 2，AISI321滲氮后試樣腐蝕電流為3.441×10-6 A/cm 2，與基體相差不大。