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氣體滲硅，多數是直接用液體的SiC14，用滴入或用氮、氫、氨分解氣體作為載體，將硅送進爐內．氮、氫以及氨分解氣等載體，同時也有保護作用．有時也可以將工件放入旋轉爐內，周圍填以固體的非結晶的碳化硅、硅粉或碳化硅、硅鐵的混合物，加熱至950-10000C，并通入經過脫水、脫酸、去氧等凈化處理的氯氣，在爐內與硅或碳化硅等反應，生成S1Cl4再與工件表面反應，進行滲硅，這即所謂氯氣法．滴入法，是將液體的SiC1垂滴入爐內，經熱分解獲得活性硅[Si]，吸收并向鋼中擴散，滲后的工件表面光亮，滲層含硅量很低，抗酸腐蝕性差．因此，通常都采用大口徑不銹鋼管載入法，即用氮氣、氫氣，或氨分解氣體作載體將SiCl4帶入爐內．氮氣法（即以N2為運載氣體）滲硅，滲硅層表面光亮，結合性好，但滲層的含硅量低，因而抗酸腐蝕能力也較差．

氫氣法滲硅（即以H2為運載氣體），由于SiCl4+2H2韻反應，有更多的活性硅(SiJ滲入鋼中，滲層含硅量高達30-40%，不銹鋼管內層可達14 -16%，具有很高的擄酸腐蝕能力，但脆性大，易使工件邊角剝落．氫氣法滲硅表面呈銀白色或灰白色．適用于質量要求較高的工件，圖18-57  10鋼滲硅層組織(980℃ 4小時)氨分解氣體為載體的氨氣法和氫氣法完全相同，其滲硅效果介于氫氣和氮氣法之間．只需要將液態氨預先通入600℃爐內，并以鐵屑作催化劑，進行熱分解生成N2和H2．氨分解氣體較之用氫氣經濟，適于大量生產．滲硅的組織（氣體滲硅），表面均勻，白色，略帶孔隙不易腐蝕層，乃是硅在a-Fe中的固溶體，表面含硅量達14%．滲硅層中含硅量由表向里逐漸降低，只是在很深的地帶才發生突然下降．硅向大口徑不銹鋼管內擴散時，將碳趕到鋼件的深處，以致在滲硅層下面出孔性的特點，可能與鋼的石墨化有關．多孔性對抗蝕性有不利影響，若經浸油可使表面耐磨性提高，滲硅層不易加工，易崩落磨裂．因為滲硅層比容較大，一般表面都發生膨脹。http://www.fjsgd.com/